二手 KO LEE S714H #9137727 待售

ID: 9137727
Edger.
KO LEE S714H是一种精密晶圆研磨、研磨、抛光设备,专为中小批量生产应用而设计。该系统提供了高科技处理中可实现的最高质量和可重复性。S714H有一个两件式不锈钢真空工作台和两个精密头,以适应各种晶圆尺寸。该表易于调节,以适应各种不断变化的研磨和研磨平面偏移的应用。设备的控件和软件允许使用非常广泛的晶圆尺寸,直径不超过6英寸。KO LEE S714H提供的研磨金刚石工具质量最高。这些特殊的工具设计了小金刚石颗粒,以确保您的特定应用程序的最高级别的过程可重复性。对金刚石工具进行了测试和设计,使基板的污染最小,表面粗糙度最小。还设计了这些工具,以确保低热膨胀系数,以便在使用S714H时具有更高的可靠性。磨削和研磨工具可以使用获得专利的工具就地加载工艺预先加载到磨头中。这一过程确保金刚石磨料在研磨和研磨循环期间与晶片保持精确对齐,并自动补偿基材中的任何缺陷。KO LEE S714H具有自索引刀具加载机,可确保过程参数的可重复性和一致性。研磨和研磨循环由强大的板载微处理器控制。这个微处理器监视整个过程周期的晶圆速度和刀具旋转速度。通过在用户友好的图形界面上触摸按钮,可以轻松调整或修改设置。S714H配有超响应抛光头,可覆盖直径不超过6英寸的任何晶圆区域。此功能包括一个浮动和补偿工作头,它会将自身模压到晶片中的任何缺陷,从而使晶片表面均匀抛光。抛光头的高响应性保证了每个晶片和每个抛光周期的优越效果。KO LEE S714H是一个工程奇迹,旨在提供具有中低批量生产应用的最高精度工艺。这台功能强大的机器是晶圆研磨、研磨、抛光的可靠、经济高效的解决方桉。它提供一致的结果,并提供尽可能最佳的结果。
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