二手 KOYO R631DF #9282444 待售

KOYO R631DF是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于精密加工各种硬质材料。该系统采用模块化设计，能够执行多项任务，如基板清洁、研磨、研磨、抛光和先进半导体生产所需的其他操作。它由精密电动机编码器和模块驱动,用于控制速度,从而确保晶圆的长度和宽度具有最佳的表面光洁度和精度。这使得它特别适合于超精密加工操作。该装置配有一次性板垫，用于防止不同材料之间的交叉污染，同时进行研磨和抛光操作。它有一个集成的冷却机，以保持温度均匀性，减少成品晶片的翘曲。空气轴承主轴的设计提供超平滑操作超精密表面处理。主轴直接驱动，惯性低，精度高。此外，它还有一个先进的计算机化监测工具，可以与自动化过程控制算法相结合，以提高生产率。资产具有在线流程测量功能,可实时评估性能并实现快速流程调整。实时监控功能还确保按照预定的均匀性和精度规范对晶片进行一致处理。为进一步提高其性能，该模型具有独特的多轴机器人，可用于载荷和卸载晶片，并自动将晶片定位在最优位置。该设备的设计是为了加强安全，所有操作控制措施均得到保护，以防未经授权的人员进入。总体而言,R631DF是一个精确、灵活和用户友好的解决方桉,适用于需要快速、准确和可靠的晶圆研磨、研磨和抛光操作的半导体制造商。