二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS SABRE 3D #293615348 待售

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ID: 293615348
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Plating system, 12" (2) Load ports (4) Process chambers Copper layer Missing parts 2011 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS SABRE 3D是一种最先进的晶圆研磨、研磨抛光系统。NOVELLUS SABRE 3D专为广泛的应用而设计,从一般用途的要求一直到最先进的半导体器件制造。它为ISO和精细表面光洁度操作提供了高精度和可重复性。LAM RESEARCH SABRE 3D利用多项创新技术提供卓越的性能。它的单个主轴和电机提供了无与伦比的可重复性、准确性和动态响应。其集成的夹紧系统和自动化的卫生程序保证零件的安全,同时提供卓越的研磨效果。为了进一步优化工艺时间,SABRE 3D利用高精度光学刀具单元,帮助确保零件和刀具正确对齐。LAM RESEARCH/NOVELLUS SABRE 3D具有多种功能,可解决刀具和零件磨损问题。其先进的陶瓷涂层保证了砂轮的耐用性和耐磨性。其可调真空系统有助于延长刀具寿命,而内置传感器检测刀具变化和空气轴承调整,使每个刀具能够以更理想的速度运行。NOVELLUS SABRE 3D是精密晶圆研磨、研磨、抛光必不可少的设备。它具有直观的控制和多维用户界面,可全面控制研磨、研磨、抛光和动态安全参数。此外,它的内置诊断程序可以快速识别和解决错误。此外,LAM RESEARCH SABRE 3D充分利用LAMNOVELLUS CNC控制系统,提供过程优化和控制,并轻松集成到客户的环境中。SABRE 3D代表晶圆研磨、研磨、抛光的最高性能。其独特的技术提供了无与伦比的准确性和可重复性,同时能够快速优化每个应用程序的过程参数。LAM RESEARCH/NOVELLUS SABRE 3D具有创新的设计和最先进的功能,是实现完美表面光洁度而又不影响质量或安全性的理想工具。
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