二手 LAPMASTER 15 #293627114 待售

LAPMASTER 15
ID: 293627114
Polishing machine.
LAPMASTER 15是一种全自动晶圆研磨、研磨和抛光设备,在表面精加工和研磨方面提供卓越的性能和极高的精度。它是为需要高精度和可靠性的工业应用而设计的。15包括一个强大的直流无刷驱动马达,允许平稳,安静和高效的磨削操作。它可以处理直径达LAPMASTER 15英寸(381毫米)的晶片,厚度从200到1000 µm,总精度。该系统具有差动驱动行星单元,可进行广泛的研磨和抛光操作。数字控制器允许精确和可重复的过程控制,用户定义的参数设置包括进给速率和压力。15使用高速水球储层提供连续供应的研磨介质。这种高压喷水产生稳定的研磨环境以及最佳的工艺冷却效果。水圈储层还有助于减少不良的颗粒污染,同时保持均匀的过程压力。此外,LAPMASTER 15机具有提供实时流程监控的智能观察员软件。这种监测工具可以跟踪关键工艺参数,如研磨压力、速度和温度。观察者软件可以提供对性能问题的洞察,并为最佳流程提出建议。15设计全面、易于操作且经济实惠,可节省时间和成本。它的模块化设计提供了灵活性和可扩展性,使其能够适应各种工艺需求和应用。为了确保可靠和可重复的反馈,LAPMASTER 15包括一系列光学计量工具,包括光学干涉仪和剖面仪。这些工具用于测量和分析抛光晶片的表面,为用户提供对研磨结果的全面回顾。总之,15提供了晶圆研磨和抛光操作的最大精度,具有极好的可重复性和可靠的反馈。它是一种全面、可靠和经济高效的资产,是各种工业应用的理想选择。
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