二手 LAPMASTER 36 #9274730 待售

LAPMASTER 36是一款综合性晶圆研磨、研磨、抛光设备，旨在满足先进设备IC制造商的需求。36以其独特的先进技术组合，能够在大多数晶圆类型上实现精确的平面化和平坦度精度。LAPMASTER 36的核心是其专属的研磨/研磨/抛光头，由三个由独立主轴电机操作的集成头组成。头顶有一块花岗岩板，一个轮廓平整的板材穿过。中下两头装有棉质研磨膜，研磨、研磨和抛光晶片。上下两端可独立上下移动，以调整施加在晶片上的压力。36具有高速可变驱动电机,能够提供出色的研磨/研磨/抛光性能,而不会产生过热或损坏现有晶圆结构。LAPMASTER 36包括几个安全功能,例如E-STOP功能,如果正在执行的过程变得不安全,该功能将使机器立即停止。此外,系统会自动检测晶片加载错误的时间,并防止在正确加载之前对其进行处理。该模块包括几个自动化功能，包括配方存储、实时机器状态监控和运行到完整的功能。这使用户可以方便地编程和监视与每一种晶片关联的过程步骤，如压力设置、压板速度和使用的研磨膜。36的先进控制单元便于连续流动操作，非常适合大批量生产设施。此外,机器提供的高级集成和控制允许轻松监控过程性能,帮助在出现问题时立即发现问题。综上所述,LAPMASTER 36的先进功能使其成为希望在晶片上达到最高水平的平面化和平坦度精度的设备制造商的理想选择。它结合了先进的技术、安全功能和自动化功能,是在一系列晶圆类型上提供一致准确结果的理想选择。