二手 LAPMASTER 36B #9216461 待售

LAPMASTER 36B是一种专利晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在为任何基材提供卓越的平面化和圆度效果。借助一套强大的功能和获得专利的驱动器技术,该设备可以快速处理各种尺寸和形状（从2英寸到8英寸以外）的晶片,并具有最佳的材料去除和平整度。该单元独特的设计采用了统一的空气轴承研磨金刚石心轴和工作固定器装配,从而简化了工作流程并提高了与传统手动流程的一致性。可以以5˚增量索引工作持有者,以支持多个过程,而重力进料和反压力使材料保持在适当位置。高功率驱动系统可实现精确的速度、位置和加速度控制,提供6000rpm的最大速度。带爪离合器的固定比率直驱消除了较大的负加速度,从而改进了晶圆面的跟踪和最终产品的均匀性。36B还具有由皮带或直接驱动马达驱动、以往复运动或旋转运动方式移动的精确伺服控制板。这使得实现精确对称研磨以支持高质量的TTV水平成为可能。此外，该装置还具有高效的空气冷却装置，可确保研磨板的温度和磨损速率均匀，增加材料的去除和可重复性。该单元提供了一系列的精磨和磨削选项。其中包括用于降低RMS表面粗糙度的独特RaMax™板、用于高通量处理的多通道并行抛光台,以及用于锐化和磨削的专用工作支架。LAPMASTER 36B为晶圆研磨、研磨和抛光提供了一个强大、精确和高效的解决方桉,在所有基材材料中均可获得一致的结果。无论是独立使用还是作为完整加工机的一部分，该单元都有助于简化要求苛刻的操作，为生产线带来更好的质量控制。