二手 LAPMASTER 48 #9203948 待售

LAPMASTER 48是一种最先进的自动化晶片研磨、研磨和抛光设备，专为各种晶片制造工艺的全系列而设计。该系统采用模块化设计,这意味着可以根据不同的尺寸要求轻松配置组件,从微观的超薄Si层（<20um）到直径可达300 mm的超厚基板。核心结构由一个垂直加工头组件组成，该组件由一个专利固定主轴与精密电动机耦合而成，以及一个可以在高度和倾斜度上进行调整以满足精密晶圆研磨和抛光需要的多轴自动运动单元。支撑的研磨/抛光系统有一个高级电动主轴电动机，可产生高达20,000 RPM，精度为+/-2 μ m。对连接的金刚石研磨盘进行精密控制，以实现晶圆到晶圆的最佳可重复性。晶圆研磨、研磨和抛光机还提供了一个独特的芯片控制器，以高效、准确和安全的操作工具。它被编程为显着缩短机器的设置时间和最小的操作员交互。模块化结构还可以灵活地结合其他组件,如循环冷却资产、真空过滤器、空气过滤器鼓风机、光束诊断和其他定制组件,以满足特定的应用需求。该型号还配备了精密的软件，方便设备的设置和操作。它支持直观的图形用户界面（GUI）,可指导用户完成安装和操作过程。该系统还提供了一个全面的控制程序库，用于准确和可重复的操作。最后，48是一个先进的，高性能的晶圆研磨，研磨和抛光单元设计，以满足最苛刻的应用的需求。它配置性强,具有卓越的精度和可重复性,非常适合半导体器件制造、光学/光电抛光和光学薄膜生产等应用。