二手 LAPMASTER 600/2 #9300180 待售

LAPMASTER 600/2是一种晶圆研磨、研磨和抛光系统，旨在实现半导体行业晶圆的优越平整度和光洁度。LAPMASTER 600/2系统可分三个阶段在晶圆研磨、膝部研磨和抛光过程中提供卓越的性能,能够处理200 mm和300 mm晶圆。集成系统使用PLC控制的研磨主轴启动研磨过程,在该主轴上固定工件,在Y轴上进行研磨。主轴由交流伺服电动机驱动，通过变频器进行监控和控制，以达到优越的平整度。磨削主轴能够在低速下进料，具有良好的受力控制，使磨削保持一致和均匀。第二阶段的圈速和抛光过程在精密研磨台上进行。这样可以使表面平面性、平行性和光洁度达到非常严格的公差。利用专门配制的晶圆与桌子之间的石对石接触。该表由交流伺服马达驱动，由变频器监控和控制。这些主轴又连接到伺服电动机，从而实现高效的速度控制，保证精度和可重复性。过程的最后阶段是抛光过程，由压力对力控制器控制。抛光板由交流伺服电动机供电，并由变频器监控和控制，以便为受力压力设定预先编程的参数。LAPMASTER 600/2配备了触摸屏界面，允许在研磨、研磨、抛光过程中轻松操作和参数设置。LAPMASTER 600/2在一个系列中提供无与伦比的零件尺寸精度和准确性。LAPMASTER 600/2结合了卓越的性能、控制和监控功能,对于要求最苛刻的晶圆研磨、研磨和抛光工艺而言,是一种极其可靠且经济高效的解决方桉。