二手 LAPMASTER LSP-6 #293810735 待售

LAPMASTER LSP-6是专门为晶圆加工应用而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它是一个全面的系统,提供一致的结果,具有较高的吞吐量速率。该单元结合了精密设计的砂轮、研磨板和抛光头，用于加工各种尺寸和厚度的多种半导体晶片。LSP-6具有许多先进的设计特点，可确保可靠和一致的精密研磨、研磨和抛光工艺。磨轮由高扭矩、无刷直流伺服电机驱动，保证了运动的精确控制和均匀性。电机由先进的比例积分控制器控制，用于精确、平滑的研磨和研磨操作。集成激光机确保整个过程的准确性和一致性。集成研磨板是为均匀高效晶片与板接触而设计的。该板具有切入表面或光学涂层的凹槽，以获得最佳的晶圆研磨性能和均匀性。研磨板还具有可调弹簧和真空槽以实现精确晶片到板的温度和压力剖面。这样可以确保快速研磨周期时间、控制所需晶圆的去除以及结果的一致性。集成精密抛光头可用于获得光学表面光洁度。这是通过使用自上而下的旋转圆盘和精密的研磨栅格来实现的，该栅格设计用于生产光学光滑的晶片。Turbo-Lapper工具可去除表面粘附的颗粒,也可作为LAPMASTER LSP-6的选项使用。LSP-6为各种晶圆处理应用程序提供了可靠且经济高效的解决方桉。它是一种用途广泛的资产，具有许多针对许多晶圆类型和大小量身定制的功能。它具有精确的控制、高效的操作和统一的结果，是许多精密晶圆处理任务的理想选择。