二手 LAPMASTER LSP-6 #293810738 待售

LAPMASTER LSP-6是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于可靠生产和加工最具挑战性的光伏、半导体、光电等技术级基板。它比现有系统具有显着的技术进步，使其用户能够快速准确地实现光刻成像和设备处理。该系统采用单轴多轴机械臂，可在多个工作站之间快速移动晶圆磨削工具。这允许用户对单个晶片按顺序进行多次表面研磨操作，有效地削减了每次操作所需的时间。此外，机械臂可实现高度精确的研磨操作，并确保晶片的精确可重复性，其精度在人工系统中是不可行的。该单元还拥有一个高速研磨站，设计用于处理非常薄的基板。此阶段可确保高速和高精度的有效研磨。内部运动监测机确保研磨板的强度和运动在整个过程中是一致的，允许一致的结果。该工具的最后阶段是一个抛光站，旨在确保最终的，最高质量的光洁度到基板。抛光站具有先进的介质分配资产，允许用户根据其要求调整介质的大小和流量。该型号还设有再循环设备，允许用户在整个抛光过程中实现低周期时间和一致的高精度。当与LAPMASTER系列的互补组件结合使用时,LSP-6为加工和生产各种先进基板提供了全面、高效和经济高效的解决方桉。其先进的功能和用户友好的设计使用户能够体验到几乎毫不费力的高精度研磨、研磨和抛光工艺。