二手 LECO 851-100 #9090597 待售
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LECO 851-100是一款全自动晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在满足当今半导体行业要求最苛刻的工艺工程师的高度期望。该系统在半导体和其他元件的超光滑抛光方面提供了最高水平的精度和精确度。该装置有晶圆研磨机和抛光机两个主要部件。晶圆研磨机能够在一个步骤中精确地磨碎大部分表面。它使用精密控制的激光器对晶片表面进行平整,使磨削在其整个直径上均匀。研磨机配有计算机控制的3轴直线输送机,确保每个晶片的研磨宽度均匀。研磨机精密的研磨和平整的表面,消除了对后加工研磨的需要。然后使用抛光器在晶片上固定所需的表面质量。利用重型精密测试仪定位抛光表面,获得理想的抛光接触压力。抛光器还具有一个三轴机器人头能够精确控制抛光运动。抛光器还能够持续监测接触压力,从而能够在晶圆的整个表面施加一致的抛光力。这样可以确保晶片的表面均匀、一致地抛光。851-100还具有易于使用的人机界面(HMI),提供对所有工具功能的直观控制。该资产便于操作和模型优化,同时提供所有必要的数据记录和分析功能,以实现可靠的过程监视和控制。集成的实时过程监控显示允许快速调整研磨参数以确保过程稳定性。总体而言,LECO 851-100是半导体行业必不可少的工具,可快速、经济高效地提供精确、均匀抛光的半导体组件。这款高性能设备在设计时考虑到了安全性和准确性,无需密集的手动研磨和抛光,同时减少了操作成本和时间。
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