二手 LECO PR-10 #293620358 待售

LECO PR-10晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种多功能表面整理系统，设计用于半导体和光电工业。PR-10采用先进的双主轴电机设计，对晶圆表面进行精确研磨和抛光，并对所有表面参数进行精确控制。LECO PR-10单元包括一个集成控制器，便于操作和各种工艺参数的精确控制。它包括精密主轴电机、多轴运动控制机，以及用于精密、可重复、精密研磨抛光的手动和自动系统。PR-10还具有数据采集工具，用户可以实时准确监控晶圆的表面特性。LECO PR-10利用先进的高分辨率磨削和抛光设备，能够生产出极精细的成品表面。这是通过利用专用的高精度研磨/抛光电动机实现的，该电动机能够以0.05微米的精度在主轴上3000-200000 RPM转速范围。PR-10使用各种研磨/抛光工具，如金刚石和磨料、金刚石研磨板和金刚石皮带。LECO PR-10还包括用于有效散热和冷却研磨/抛光过程的集成冷却模型。PR-10配有多个工作站，以便高效运行，并允许同时进行多次研磨/抛光过程。理想情况下,LECO PR-10用于晶圆和其他元件的精加工。精密研磨和抛光在半导体工业中用于制备用于后处理的表面。已与PR-10设备接地的晶片通常不需要进一步抛光,并且可以组装成元件。该系统可确保精确和可重复抛光,并允许精确的轮廓控制。LECO PR-10是精密表面研磨和抛光的可靠、高性能、经济高效的选择。