二手 LECO Spectrum 2000 #9328697 待售

LECO Spectrum 2000是一种最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在为各种晶圆尺寸提供高通量和精密处理能力。该系统具有多项功能,旨在提供高质量、安全、易于使用和可靠的工艺,以便在晶圆上产生精细表面光洁度,包括内置的工艺优化功能。它的设计坚固而轻巧，设计为单次提供最佳性能，Spectrum 2000单元的主要特点包括一次最多可容纳两个晶片的旋转吸盘， 确保一个一致的均匀研磨和一个无触摸的主轴去除灰尘， 晶圆表面的污垢和其他污染物。它采用了高达4500 RPM的固定主轴速度与数字伺服驱动机器，使精确的速度控制。该工具还包括一个双工作站，其特点是可调节的空气台，带除尘器的不锈钢引擎盖和气体辅助双窗扇。这种双窗扇可确保在同一晶片上进行研磨和抛光而不会污染表面或工艺的封闭资产。该模型能够使用一系列磨料进行干法和湿法加工。该设备由LECO获得专利的Trifide ESR技术提供动力，该技术允许控制、逐步控制处理。这种先进的技术可以保护晶片免受有害的环境影响,同时确保保持准确的功率和速度以提高产量,从而优化工艺。该系统具有高能效,旨在减少流程时间并提高流程质量和吞吐量。它的高级功能旨在将维护和维修成本降至最低,同时确保工艺条件保持一致和最佳。LECO Spectrum 2000是一个工业级的单元，为晶圆研磨、研磨和抛光提供卓越的性能。它是半导体晶片稀释和晶片清洁等应用以及其他精密晶片处理应用的理想选择。