二手 LECO VP-50 #9124553 待售

LECO VP-50是为半导体、MEMS和光电工业的高精度晶圆级工艺设计的最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统设计精确度和速度与大主轴电机产生强大的研磨力在晶片上，而真空卡盘防止晶片在过程中移动。VP-50还确保了精确和可重复的研磨结果,预编程计算机控制的可变进料速率和大约550金刚石砂砾尺寸。该单元在抛光过程中也非常精确,采用一步、高精度和全自动的表面研磨和抛光工艺,尺寸可达200 mm。本机配有用于抛光工艺的标准50mm石墨垫板、用于加工水的自底漆泵和用于抛光过程中金刚石浆料完美应用控制的顶置金刚石浆料输送泵。LECO VP-50也因快速的粗磨和高达40 rpm的抛光速度而拥有较短的周期时间。该工具还配备了用户友好的HMI（人机界面），能够直接设置所有资产参数。操作过程中提供了智能报警消息,以告知具有流程状态的操作员,确保流程平稳高效地运行,结果满足较高的晶圆要求。VP-50晶片研磨、研磨和抛光模型设计用于晶片级工艺的高精度结果和可靠的循环时间。这种设备可以产生精确到大约550金刚石砂砾大小的结果，具有自动化的单步工艺和可变的进料速率，用于精确研磨。该系统还配备了HMI、石墨垫和自底漆泵，让操作员轻松设置工艺参数，从头到尾监控工艺。