二手 LOGITECH 1CM51-CDP #9379071 待售

ID: 9379071
CMP Polisher.
LOGITECH 1CM51-CDP晶片研磨、研磨和抛光设备是一种自动化的计算机控制抛光系统,旨在提供高精度和低缺陷晶片表面精度。该设备采用最新的自动化技术进行设计,可实现最高的吞吐量和最可靠的性能。该机采用三轴龙门机器人,由高性能伺服电动机驱动,在X、Y、Z轴上提供精确、可重复、精确的运动。龙门机器人能够移动和操纵直径达800毫米的晶片,利用双级晶片支撑工具提供高精度和重复性。该资产还利用基于视觉的最先进的对准模型进行精确的晶圆定位和机器人工具路径精度。1CM51-CDP是一个完全封闭的设备,具有集成的过程和诊断监测和控制。该系统能够进行单面或双面研磨、研磨和抛光操作。研磨是通过使用单面销钉安装的金刚石轮来完成的,而研磨则是在专门设计的双面研磨板上进行。该单元具有小于1.0纳米的表面粗糙度(Ra)光洁度,可以产生晶圆表面缺陷的自由结果。此外,机器在晶片内产生低残余应力,使其成为广泛应用和基材的理想选择。该工具支持多种晶圆材料,包括但不限于Silicon、Sapphire、Quartz和Gallium Arsenide。该资产是为安全、高效、低维护运行而设计的。该型号还配备了一系列运动和安全系统的综合安全联锁设备,以及一个伺服驱动的外壳,以确保系统和操作员的安全。LOGITECH 1CM51-CDP晶片研磨、研磨和抛光装置是一种高度通用和可靠的解决方桉,可实现精确、精确且无缺陷的晶片表面。该机先进的控制和处理能力,加上强大可靠的伺服驱动运动系统,使其成为那些寻找高性能、经济的工具来加工各种晶圆材料和基材的人的理想选择。
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