二手 LOGITECH PM2A #293695695 待售
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LOGITECH PM2A是一种最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于处理较大的晶圆和基板。该系统由三个主要硬件组成:工作台、磨床和抛光机。LOGITECH PM 2A装有一个大型、坚固的工作台,可容纳多达14个250 mm或6个300 mm晶圆,每行7个。该装置还具有特别设计的碳化硅磨轮和抛光垫,能够在晶片上实现高表面光洁度。该表还具有数字读出组件,用于精确定位晶片进行研磨和抛光。磨轮是一种高精度的金刚石轮,变速范围在400至4500 rpm之间,负载能力高达85kg,给各类晶片以高品质的光洁度。这与精确的负载和压力控制以及磨头定位相结合,以确保抛光过程中的可靠性和准确性。PM 2 A的主要部件是研磨机,它使用无刷、水冷、直流电机和金刚石轮,将晶片快速研磨到所需的尺寸、形状和表面光洁度。磨床设计有安全功能,以保护操作员免受伤害,如双级安全联锁和检测到不安全状况时自动关机。还采用了气刀机和特殊的双刃吸力设计,使松散的颗粒和磨屑远离操作员。抛光器是PM 2A的最后一个部件,设计用于全自动晶圆抛光。它由垂直安装的直流电动机轴和可互换的抛光体组成。电机也无刷、水冷,产生安静、低振动的运行环境。安装在电动机上的抛光体使用振荡运动在广泛的速度、压力和持续时间范围内抛光晶片,从而实现可重复和一致的结果。总体而言,PM2A为晶圆研磨和抛光提供了高质量和高效的解决方桉,能够提供具有高度可靠性和准确性的均匀表面光洁度。该工具提供了操作员友好的设计,可以处理多达14个250 mm,或6个300 mm晶片,给用户处理大批量晶片的快速吞吐量时间。该资产适用于许多不同的应用,非常适合工业环境。
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