二手 LOGITECH PM5 #293630266 待售

LOGITECH PM5是一种自动化晶圆研磨、研磨抛光设备,用于半导体晶圆的加工.该系统高效，专为满足磨削、研磨、抛光等耦合工艺的苛刻要求而设计。该机配备300毫米或450毫米自动双面研磨单元以及300毫米或450毫米单面抛光室。它有一个冷却控制阀和一个真空卡盘，用于高效的精磨和抛光。另外，机器可以对不同厚度的晶片执行双腔研磨工艺。此外，灵活的自动化单元允许多任务处理和集成其他处理步骤。机器的心脏由几个部件组成，包括一个精密驱动机器和一个磨削/抛光单元，它们被同步以提供出色的表面光洁度。磨削/抛光装置配有两个金刚石头，由两个可编程的频率电动机独立驱动，以提供精确和均匀的结果。金刚石头以4000/5000 rpm旋转，产生近乎完美的球面光洁度。这台机器还配备了先进的传感器和直观的用户界面，可以方便地设置参数。它还提供了一些安全功能,例如紧急停止按钮、压碎保护和中央单元,该单元可不断监控机器的性能并生成详细的审计报告。综上所述，LOGITECH PM 5晶圆磨削、研磨抛光刀具是一种高效、先进的CMP机器，专为生产级吞吐量而设计。它易于使用的用户界面和详细的审计报告允许精确和均匀的表面光洁度。其灵活的自动化资产允许集成多个处理步骤，使其适合各种应用。