二手 LOGITECH PM5 #9080752 待售
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ID: 9080752
优质的: 1999
Lapper / Polisher
Includes:
5" Jig, P/N: 1PP54
Vacuum mounting system
Vacuum port
Up to 3" wafers
Dial meter
Abrasive auto-feed cylinder, P/N: 1CYL1
12" Plate (not for III-V, ok for Si)
P/N: 1PM58
P/N: 1CYL11
P/N: 1PP54
1999 vintage.
LOGITECH PM5是专门为微电子生产设计的先进晶圆研磨、研磨和抛光设备。它是同类中最先进的工具,用于创建异常一致和高质量的曲面。LOGITECH PM 5配备了先进的研磨、研磨及抛光头技术,将晶片精确研磨及抛光至指定标准。金刚石磨盘用来研磨晶片,抛光垫和金刚石膜可以用来抛光表面,创造出所需的精确形状。该系统还配备了一系列先进的传感器,可监控研磨压力、速度和温度,以及抛光精度,确保晶圆表面符合所需规格。PM5能够处理从小芯片到大基板的晶片,最大直径可达200毫米。晶片通过可靠的真空卡盘固定到位,确保在整个生产过程中进行精确的研磨和抛光。PM 5还配备了多项使生产过程更高效的高级功能。自动样品装载机减少磨削序列变化时的时间浪费,每批最多可设置10个晶片的加载周期。它还包括用于稳定和精度的精密传感器监测器,以及用于精密晶圆磨削和加工的先进模拟工具。此外,LOGITECH PM5包括多种安全功能,例如紧急制动器,在发生任何危险时会停止机器。该单元还配备了坚固的互锁机,以确保随时安全。总体而言,LOGITECH PM 5是一种先进而高效的工具,可提供晶圆的精确研磨、研磨和抛光,从而生产高质量和一致的表面。其先进的特点、安全的特点和用户友好的界面使得它成为任何微电子生产设施的绝佳选择。
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