二手 LOGITECH PM5 #9206610 待售
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已售出
ID: 9206610
Lapper / Polisher
Includes:
VS2 Vacuum system with tubing and frame
EDWARDS Speedivac vacuum pump
LOGITECH PP5 Polishing jig with vacuum chuck + jig stand
Slurry barrel
Slurry chute
Roller arm
30 cm Stainless steel polishing plate
30 cm Cast iron lapping plate grooved
126 mm Cast iron test block
Manual for PM5 & jig
Added accessories:
Lapping/polishing powders
(5) Tubs
Various levels of fill
Sizes includes:
0.05 um, 0.3 um Ultra fine aluminum oxide
3 um Calcined aluminum oxide
Silicon carbide powder (x2)
Lapping/polishing cloths/misc.
LOGITECH PM5是一种自动化的多功能晶圆研磨、研磨和抛光设备。该创新系统旨在为晶圆研磨和抛光提供与手动系统质量相同的快速循环时间,并提供研究和产品开发所需的精确、可编程和可重复的过程。LOGITECH PM 5采用精密刀具主轴、动态拉伸单元和可调节的角度横移,为磨削、研磨和抛光直径不超过8英寸的晶片提供了非凡的能力。此功能有助于降低实际生产过程中每个晶片的成本。这台机器采用独一无二的循环仪驱动和精确运动控制相结合,可达到高达5,000 rpm的速度,能够产生超过手动系统所能达到的精度和可重复性。PM5还设有一个集成测量站,允许现场完成过程控制验证(PCV)。这是用高分辨率数码相机完成的,它能够捕获晶圆地形测量过程前后的图像,以及对Grind和Lap变形的实时分析。此功能为过程参数和产品优化提供了强大的反馈。PM 5能够处理范围广泛的材料尺寸和类型,也能够抛光多种类型的材料,具有各种各样的浆料组合。此外,该机器还能够容纳一系列磨料,包括多晶金刚石(PCD)、金刚石和cBN。该工具还配备了定制的用户界面,允许在机器设置和操作中完全控制。LOGITECH PM5结构坚固、操作精密、功能创新,是晶圆生产需要(包括计量、研发过程)的理想选择。自动晶片研磨、研磨和抛光资产提供快速、精确的晶片处理,具有可重复的精度,同时保持晶片的最高质量。
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