二手 LOGITECH PM5 #9396066 待售

LOGITECH PM5是一种用于精密半导体晶圆制备的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它能够以极高的精度自动制备小晶片的表面.LOGITECH PM 5利用金刚石磨削、抛光技术等先进技术，提供优越的晶圆效果。该系统由磨料轮头单元和抛光头两个主要部件组成。磨料轮头利用金刚石磨削技术，精确地勾勒出晶圆表面的轮廓。磨料轮头的设计采用高精度调平单元，可重复编程参数包括压力、速度和切割深度。这台机器可以有效地支持各种晶圆尺寸和其他形状。磨料轮头使用的磨料轮采用专用的"最后一步"废物减少法进行精细结构磨削和抛光。此外，PM5还配备了抛光头，利用金刚石研磨技术提高晶圆表面光洁度。抛光头设计为利用「一次性」抛光工艺，将金刚石颗粒从晶圆表面拉走，并留在后面，以便在车轮移除前进行额外抛光。这款抛光头还配备了双层破坏工具，利用三个阶段的破坏来提供精确的表面轮廓整理。PM 5配备了精密的软件控制工具，专为晶圆研磨应用而设计。该软件提供了一个易于使用的界面，用于设置和调整研磨参数，以及提供一个监测过程有效性的平台。LOGITECH PM5专为高效晶片加工而设计，能够生产厚度达5mm的晶片。它还设计了包括紧急关闭、温度控制和低压限制在内的安全功能。LOGITECH PM 5适用于多种晶圆处理应用，包括翻转晶片製造、3D IC封装、微电子。它体积小巧，性能优越，是各种晶圆研磨、研磨和抛光工艺的理想选择。