二手 LOH FM4 #9127661 待售

LOH FM4是一种晶片研磨、研磨和抛光设备，能够在晶片用于电气应用之前为半导体和硅片做表面准备。该系统利用专门的支撑结构在研磨和研磨过程中固定基板。表面制备是通过使用自旋研磨、大面积研磨、平面研磨、抛光等已知的表面制备技术实现的。该单元由精密控制单元（PCU）和线性研磨机（LLM）两部分组成。PCU是一种伺服控制设备，用于控制晶片的运动，以进行精确的研磨和研磨操作。它具有高精度和重复性，允许用户调整研磨和研磨操作的速度、方向和加速度。LLM是一种线性电动机,由电感上的吸引力提供动力。它产生恒定的受控力，使最终的表面形状具有最大的精度。FM4使用水冷金刚石砂轮在晶圆上创建一致的光洁度。车轮由含有多层多晶金刚石颗粒的高纯度树脂制成。多晶结构旨在减少碎裂，最大限度地提高研磨效率。磨轮附着在PCU上，以用户可以调整的变速运行。然后,可以使用LLM将晶片圈成均匀的光洁度。机器还配备了抛光垫，用于抛光晶片。这个过程从晶圆表面去除了粗糙度，增加了它的反射率和表面平坦度。抛光垫由多孔、耐用的材料制成，旨在以最小的磨料消耗提供优异的效果。LOH FM4旨在满足半导体生产的高精度需求。该工具可针对各行业的需求进行定制，并提供可靠高效的晶片表面制备方法。它为用户提供了一种经济高效的抛光和研磨晶片的方法，然后才能用于电子产品。