二手 LOH RF 3A #77401 待售

LOH RF 3A是一种最先进的晶圆研磨、研磨和抛光（WGPL）设备。这种高度通用的加工系统集成了磨削和抛光功能,允许晶圆的多个加工过程。RF 3A具有独特的架构,可容纳直径不超过8英寸的3英寸和4英寸晶圆。它由强大的机器人工具更换器提供动力，可以处理各种各样的磨削和抛光轮。LOH RF 3A单元采用高精度扫描仪、运动控制机和机器人IO模块设计。扫描仪精确检测晶片的位置，并执行过程中的检查。它带有一个内置的晶圆配方库，使其能够可靠地加工具有不同设置的不同晶圆。运动控制工具在定位、研磨和抛光操作方面具有较高的速度和精度。机器人IO模块提供了对所有加工参数的精确和可重复的控制。RF 3A具有内置冷却器,可在加工区域内保持温度。LOH RF 3A是为高质量和可重复性能而设计的。它可以给晶片留下非常平坦光滑的表面光洁度。机器高度自动化，能够在一个会话中处理多个晶片。它是高度可配置的,允许多个加工操作和过程。资产由功能强大的基于计算机的流程控制器运行，在设置和参数上提供高度的灵活性。此外,RF3A设计具有最可靠的安全特性。它采用安全联锁和其他安全功能，确保机器的安全和正常运行。该型号与机械、电气和射频兼容，适合各种晶圆应用。LOH RF 3A带有简单直观的接口和设置，使操作员能够针对不同的过程快速高效地设置机器。总体而言，RF3A是一种功能强大且可靠的WGPL设备，专门为晶圆的加工而设计。其精密扫描和运动控制系统、机器人刀具更换器和自动化过程提供了可重复和高质量的加工结果。LOH RF 3A配置性强，可用于各种晶圆的多次加工过程。