二手 LOH Toro-X-1000 #9047153 待售

LOH Toro-X-1000是由LOH Advanced Technic制造的晶圆研磨、研磨和抛光设备，在半导体行业中非常适合晶圆级后切块。该系统具有电子控制级和研磨级,可轻松处理直径从3英寸（76.2mm）到6英寸（152.4mm）的晶片。Toro-X-1000配备了自动研磨研磨控制装置、温度控制机、气泡清洗工具和压力控制资产。模型结构由电子控制级、气线设备和研磨级组成。电子控制级包括PC控制单元、步进电机控制、水冷系统和校准电路。PC控制单元用于晶圆直径设置和车轮功率设置等设置操作,以及对研磨质量的控制。步进电机控制用于在磨削过程中保持恒定的车轮速度。水冷却器用于冷却砂轮，防止砂轮过热，而校准电路确保研磨过程中的精度。LOH Toro-X-1000刀具的气管机将压缩空气从鼓风机泵入研磨阶段，产生气流到研磨表面。这种气流有助于冷却研磨表面并消散过程中产生的热量。磨削阶段包含磨杯架、磨轮和保护晶片免受磨削过程造成的冲击力的屏蔽。磨轮通常采用金刚石镀层，其尺寸因晶片类型而异。Toro-X-1000资产的研磨过程包括主要的研磨动作，然后是研磨和抛光阶段。主要研磨动作切入晶圆的薄层，形成研磨抛光的起点。在研磨阶段，机器由两个车轮组成，两个车轮以相反的方向移动，使晶片表面旋转。在抛光阶段，一个带有金刚石颗粒的旋转抛光垫对晶片表面进行抛光，以增加均匀的光洁度。简而言之，LOH Toro-X-1000是一种精密的晶圆研磨、研磨和抛光模型，设计用于加工多达6英寸的晶圆。它具有全面的电子控制阶段、砂轮和空气管线设备，在研磨、研磨和抛光阶段提供精确的控制和保护。该系统的高科技特点使其非常适合半导体行业的后期切割。