二手 LOH Toro-X-2000 #170510 待售

ID: 170510
Wafer systems.
LOH Toro-X-2000是一种先进的晶圆研磨、研磨、抛光设备。它是一个高精度、自动化的系统,专门设计用于在硅片表面上产生超细且均匀的表面。它使用专用的CCD激光视觉单元和一系列金刚石工具来实现高精度的结果。该机可容纳100毫米至200毫米不等的晶圆尺寸,并跨越广泛的材料,包括(但不限于)硅、陶瓷和玻璃。它的自动化操作和用户友好的界面提供了极大的便利。采用嵌入式工具,以确保在过程的每个阶段都有准确的定位和精确的移动。此外,其直观的软件可实现高效的流程管理和可追踪性。Toro-X-2000具有低调的设计和坚固的框架,可确保耐用性和稳定的操作。其优化的电力和冷却资产支持长期使用高负载和高精度的研磨、研磨和抛光工艺。磨头由两个精确枢转的臂组成,每个臂由一个无刷马达旋转。配备了8通道控制器,磨头可以在每个循环后自动校正旋转金刚石工具的位置。这确保了均匀和精确的完成。该车型先进的湿润润滑设备有助于达到精细的光洁度和高精度。先进喷气系统的集成喷涂精确数量的润滑剂,以利于光滑和润滑的磨削过程,延长金刚石工具的使用寿命。在抛光过程中,一个压缩强度控制器允许金刚石喷涂工具的精确调整。这为优化刀具和晶圆表面提供了灵活性。LOH Toro-X-2000还设有原位粒子检查和自动监测装置。这些功能能够立即反馈,从而改进过程控制和维护。此外,它的气体疏散机确保有效缓解细颗粒。这一工具特别重要,因为任何与灰尘有关的污染都会对最终结果的整体质量产生不利影响。Toro-X-2000坚固的性能和精确的精度使其成为各种高精度晶圆研磨、研磨和抛光应用的理想选择。它的自动化操作和用户友好的界面提供了极大的便利。其先进的功能使LOH Toro-X-2000成为持久可靠性能的理想选择。
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