二手 LOH / WETZLAR R-F1 #9161353 待售

LOH/WETZLAR R-F1是一种全自动晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计达到半导体行业的高质量要求。它能够在完全自动化的模式下运行,而操作员的干预最少,从而实现高吞吐量和提高效率。LOH R-F1系统有一个空气轴承主轴，可以调整轴向和径向跳动。这由两台步进电机进一步支撑，提供了最大的控制和精度，实现了优越的表面平整度。研磨头可以锁紧，以便快速、方便地更换磨料抛光垫，并且具有较大的旋转角度范围来处理不同厚度的晶片。研磨臂的独特设计提供了稳定和可重复的效果，而气动泥浆分布器和密封确保了准确和一致的化学应用。研磨、研磨和抛光过程均通过直观易用的触摸屏界面进行管理。这使设备能够按照客户规范进行精确配置。人性化的设计还允许批处理模式操作，操作员可以在其中设置多个程序进行重复序列。压力、垫速等附加参数也可实时调节，优化工艺，提高吞吐量。WETZLAR R-F1使用先进的冷却系统来确保最佳的表面光洁度和最小的样品损坏。这包括所有滚筒上的冷却套，以及先进的空气冷凝器冷却机。该工具还配备了PLC安全控制器和多项安全功能，包括超速和过温保护，以确保操作员的保护和样品的完整性。最后,R-F1实现了完整的流程可追踪性,使所有生产流程都易于监控、跟踪和控制。资产还允许完整的记录保存和报告,提供有关可用于优化流程和产品质量的所有参数的信息。