二手 LOH X2SL #9277308 待售

LOH X2SL是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于产生高精度、高效率的结果。该系统由机器人子系统、金刚石研磨子系统、研磨子系统、抛光子系统和串联检测子系统组成。机器人子系统使用两个独立的、由机器人驱动的阶段，这些阶段被设计用来在研磨、研磨和抛光过程中准确、一致地移动大型晶片。这样就消除了人为错误的风险，增加了晶圆生产的吞吐量。金刚石研磨子系统采用双金刚石研磨轮精确研磨晶片。此子系统还包括传感器和软件,用于监控研磨过程和调整参数,以确保晶圆的边缘磨碎到所需的规格。研磨子系统由几个积极的研磨头组成，旨在使晶片达到所需的平坦度。采用阶梯式研磨工艺改善晶片表面光洁度，使其准备进行抛光。抛光子系统由两个抛光头组成，配置为将晶片抛光到光滑的表面。这是通过使用金刚石磨料浆料来光滑和抛光晶片来完成的。对浆料进行控制以获得所需的表面光洁度，传感器到位监测过程并相应调整抛光参数。串联检查子系统用于检查晶片的精度和缺陷。这包括一个具有激光干涉仪和扫描电子显微镜的视觉单元。视觉机用于分析晶片的大小、形状和晶体取向，而激光干涉仪则用于测量指示晶片质量的微妙特征。最后，扫描电子显微镜允许对晶片表面进行高度详细的检查。总体而言，X2SL工具是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备，可产生高精度、高效的晶圆，几乎不会出现人为错误。其各子系统无缝协同工作，提供苛刻行业所需的质量成果。