二手 METASERV 2000 #9212907 待售

METASERV 2000是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于基板的精确表面制备，如半导体晶圆、SiC、Si3N4、光学玻璃和半导体玻璃。该系统由单轴研磨/研磨/抛光机、高速旋转涂层和激光干涉仪组成。研磨/研磨/抛光机包括一个精密主轴、磨盘切削头和XY线性换能器，结合使用来精确定位和研磨、膝部和抛光尺寸和厚度不同的晶片。自旋涂层可以编程为控制晶片旋转速度，使材料在晶片上均匀涂层。激光干涉仪用于测试和评估应用，如测量研磨力、晶圆平坦度和其他特性。该单元包括高级运动控制,包括高分辨率、高精度线性换能器和X、Y、Z和theta轴的线性进给,以确保加工材料时的精确对准和精度。2000是一种高度模块化的机器，可以很容易地用额外的组件进行升级，例如额外的主轴、额外的切削头和XY换能器以及进给轴。它的总可控进料范围高达20英寸,研磨/研磨/抛光精度为+/-0.00002英寸。该机器还包括一个用户友好的软件界面，在基于Windows的软件中编程，保证易用性和可靠性。总之，METASERV 2000晶片研磨、研磨和抛光工具是精确制备半导体晶片、SiC、Si3N4或光学玻璃等表面的可靠和准确的资产。它由单轴研磨/研磨/抛光机、高速旋转涂层和激光干涉仪组成，以及精确的运动控制。它还具有易于使用的基于Windows的软件界面,以增加便利性。