二手 MIROKU MLS-600-4 #9120453 待售

MIROKU MLS-600-4是一种晶片研磨、研磨和抛光设备,其设计目的是确保在精加工晶片时获得一致、高质量的结果。该自动化系统具有多种磨削和抛光工具,包括便于晶片处理的机械臂,并且能够处理直径不超过6英寸的单面和双面晶片。9轴DSP控制器可确保精确的移动,并具有出色的可重复性。MLS-600-4使用两个原位网格晶片卡盘进行安全高效的晶片处理,由步进电机和滚珠螺钉驱动。两台无刷直流电动机在单个模块中提供200 rpm的最高转速。它还带有一个图形用户界面和一个自动晶圆映射单元，允许快速晶圆加载和过程设置。研磨抛光过程由MIRO-C1000微机控制。该MIRO-C1000基于实时运动控制算法，具有电机加热器控制机和一系列研磨抛光功能。该工具还支持广泛的研磨和抛光主轴和头部，以及研磨和抛光磨料的选择。MIROKU MLS-600-4设计精确度和一致性,粉尘水平低,碳粉尘水平低。其晶片清洁度低于1ng/cm2,确保了可靠的晶片整理结果。该资产还设计用于安全，具有一系列安全功能，包括手持遥控器、过度旅行警报和用于紧急停车的安全开关。MLS-600-4非常适合各种晶圆精加工工艺，包括研磨、研磨和抛光。它可靠易用，精度和重复性保证了晶圆精加工的高质量效果。