二手 MITSUNAGA MFL-3B #9086147 待售
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MITSUNAGA Manufacturing Factory Line (MFL) 3B是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,其建造目的是在半导体工业中使用的晶圆的生产过程中达到最大效率、质量和精度。该系统采用了既可靠又经济的技术,提供了出色的抛光和研磨性能。MITSUNAGA MFL-3B设计用于加工直径达8英寸的晶片,并设置为处理圆形、矩形和八边形等形状。MFL-3B单元具有弹性变压器类型(ETT)和磁性变压器类型(MTT),可提供高效的研磨过程以及高效的非接触磨削和抛光,从而获得卓越的性能效果。该机器用途广泛,易于使用,具有全自动的过程控制,以简化生产过程,并具有很高的质量一致性。MITSUNAGA MFL-3B集成了磁流变流体(MR)流体技术,以最大限度地提高研磨性能,在晶圆和晶粒上提供更均匀的表面光洁度,并以最小的损伤去除晶粒。该工具还配备了MR流体温度控制,通过避免聚集和阻断冷却液油提供更多的换位切割。MFL-3B的功能包括精密研磨和1um尺寸的晶粒,以及控制每晶圆尺寸使用的金刚石段(DS)晶粒的数量和大小。此外,晶片对金刚石轮表面的高度自动调节,使得晶片的加工更加精确和可重复。此外,压板式安装结构能够同时处理多达12个晶片,减少手动处理。MITSUNAGA MFL-3B的设计还提供保护功能,包括空气控制的下力和专用主轴,以自动压缩晶片而不会摆动或变形。这一资产进一步能够用内置喷水器自动冲洗和清洁晶圆表面。它还有一个专用的芯片去除模型,能够准确地排出芯片并将其干净地沉积在防水清洁箱中,以尽量减少对生产过程的干扰。总之,MITSUNAGA制造厂生产线(MFL)3 B是一种有效的晶圆研磨、研磨抛光设备,旨在提高半导体工业中晶圆制造的生产工艺。该系统配备现代技术,提供优越的研磨抛光单元,并提供多种防护功能,确保高效精准的生产运行。
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