二手 MITSUNAGA MFL-3B #9312849 待售

MITSUNAGA MFL-3B晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种全自动、高精度的系统，设计用于研磨、研磨和抛光半导体晶圆。它非常适合在具有多种光刻结构的晶片上生产高精度、均匀的表面,例如3D结构、超细线宽和不均匀表面形状的平面化。该单元包括一台工业强度主轴电机，可变速度高达30万 rpm。这允许对半导体基板进行精确的研磨、研磨和抛光。该机还包括一个预冷器，以帮助减少生产过程中晶片的热负荷，以及一个灵活的刀具更换器，以允许灵活的模具选项。磨轮和研磨板配备了自动缺陷检测系统，以确保实现精确、均匀的表面。隔振台确保了最佳的研磨条件，并消除了不必要的振动，以确保晶片表面的质量。为了提高表面平整度和减少毛刺形成的发生率，MFL-3B配备了速度剖面控制工具。该资产感应晶片表面速度的偏移，调节磨头的速度以优化磨削性能，同时减少晶片磨损。为确保表面高度均匀,模型还配备了跟踪设备,可自动跟踪晶圆相对于磨轮或研磨板的方向。这样可以确保重复研磨相同的表面元素,并在整个过程中保持晶圆的方向。该系统能够自动控制整个过程，设计为在最小限度的人力监督下使用。它具有高级数据采集和报告功能,旨在集成到现有的计算机网络中,以实现生产过程的完全自动化。MITSUNAGA MFL-3B是一种坚固、精确、通用、高效的晶圆研磨、研磨和抛光装置，可用于在各种半导体晶圆上生产高质量的表面。