二手 MITSUNAGA MFL-4B-5S #9050571 待售

MITSUNAGA MFL-4B-5S是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备.用于将半导体基板等微电子元件磨削、搭接、抛光至优越的表面光洁度。该系统设计具有NC控制进给率单元等高精度特性，可用于多个晶片的精确平面研磨。此外,可编程磨头旋转控制机使磨削效果最佳,生产率高.该工具非常适合单晶片加工和批量生产。MFL-4B-5S由一个一次处理多达四个晶片的机器人手臂和一个位于中心的工作台组成。机器人手臂具有紧凑轻巧的特殊形态，使其能够在X轴上的耳朵和Y轴上的磨轮轴之间几乎自由移动。这种灵活性允许机器人手臂适应各种需要较小基准位置的应用,如平面研磨、纸张拆卸和边缘轮廓分析。工作台由主轴、侧轴、机器人臂三部分组成。主轴为变频电动机，最大转速8000 RPM，用于研磨和研磨过程。侧主轴装有独特的变速空气主轴电机，最高可达15000至40,000 RPM，用于精细抛光操作。两台电机均采用NC驱动的资产进行控制,以实现精度和精确度。该模型还具有多种过程控制功能。进料速率的研磨方式、研磨速度、俯仰角度和宽调节范围都可以控制，以提高效率和精加工效果。该设备还具有三个由机器人手臂和主轴和侧轴独立完成的同时自动校正功能。这样可以确保所有晶片都可以磨削并磨削到相同的尺寸,而不会有任何细微的差异。此外，施加在磨削轮和研磨轮上的压力可以调整，以匹配晶片类型和尺寸，从而获得更精确和完整的光洁度。总之，MITSUNAGA MFL-4B-5S是一种专为半导体基板和其他微电子元件设计的高精度晶圆研磨、研磨抛光系统。其独特的特性和先进的工艺控制功能使其成为生产高质量、一致表面饰面的理想选择。