二手 MITSUNAGA MFLN-9B #293616750 待售

MITSUNAGA MFLN-9B是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，通常用于半导体加工。该系统包括两个主要组件-主机单元和研磨/研磨/抛光头单元。主机单元为晶圆研磨、研磨、抛光工艺提供了坚固、稳定的基础。大型机设计具有抗振动性能，可减少环境干扰的影响。大型机能够容纳标准的200毫米和300毫米直径的晶圆盒。磨削/研磨/抛光头单元设计为执行实际的晶圆研磨、研磨和抛光过程。该单元包含三个研磨/抛光电动单元,每个单元都可以研磨、拉圈或抛光晶片,具体取决于用户选择的设置。该装置包括一个吸尘装置和一个真空机，用于在研磨/抛光工艺前后从工作区域中除去多余的颗粒，以及在将晶片从主机转移到研磨/研磨/抛光头时除去托盘中的灰尘颗粒。该工具还包括一个精密的直线级,它可以定位为精确地将研磨/研磨/抛光研磨/抛光单元移动到精确的接合点,以平滑晶圆表面的不规则性,并消除划痕等缺陷。此外，线性级可用于将晶片精确移动到研磨/抛光单元上的正确位置。这确保了研磨/研磨/抛光过程的准确和一致。资产可以手动或自动模式操作。在手动模式下，用户需要手动操作机器来进行研磨/抛光操作。在自动模式下，设置可以根据作业的要求进行编程，模型会自动控制过程。MFLN-9B设计为与各种晶圆工艺参数兼容，如研磨速度、持续时间、抛光压力和抛光板压力。这允许用户定制流程参数以适合其特定的应用程序。MITSUNAGA MFLN-9B是晶圆研磨、研磨和抛光的高效设备。它能够实现高精度、重复性和吞吐量。此外，该系统操作方便，性价比高。