二手 MITSUNAGA NH-6B #9257648 待售
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ID: 9257648
Double sided lapping machines
5B, 6.3B, 6.4B, 6B6S Specification
Motor
High frequency.
MITSUNAGA NH-6B是一种用于半导体基板的全自动晶圆研磨、研磨和抛光机。该设备设计用于加工直径不超过6英寸的硅。采用三级主轴传动机构提供高精度研磨和研磨,效果一致。第一阶段是以每分钟高达2000转的速度旋转的研磨主轴,利用金刚石磨盘对晶片表面进行研磨和剖面。第二个阶段是研磨主轴,它以高达700 rpm的较慢速度移动,并使用金刚石或SiC磨料来达到非常精细的光洁度。第三个阶段是抛光主轴,其工作速度高达1000 rpm,并使用天然或合成金刚石浆生产出极为光滑的表面。NH-6B系统还包含多个功能,以确保不同运行过程中的结果一致。其中包括一个高精度的线性轴单元,该单元允许研磨、研磨和抛光主轴与晶圆轴对齐以获得高精度结果。机器还使用先进的PID(比例积分导数)反馈回路来控制和调整研磨、研磨和抛光主轴的速度,以确保恒定的扭矩和精确的切割条件。此外,该工具有内置的清洁站,以确保基板在加工前后无污染。MITSUNAGA NH-6B是一种高度精确可靠的资产,在晶圆研磨、研磨和抛光的半导体工业中被广泛接受。由于其高精度、一致的结果和自动化的特点,成为许多生产线的首选车型。设备容量大,能够同时处理多个晶片,非常适合大批量生产要求。
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