二手 MITUTOYO HM-122 #9243737 待售

MITUTOYO HM-122晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种精密、经济高效的方法,用于研磨、研磨和抛光微电子工业中使用的各种半导体材料。该系统将几个操作阶段集成到一台机器中，允许晶圆的单面或双面处理，以及处理直径达200毫米的大型基板的能力。它能够容纳25毫米至200毫米的晶圆尺寸,并具有允许一般或深层研磨的一系列压力设置。该装置采用先进的运动控制技术，除自动晶片与晶片对准机构外，还具有5 μ m定位分辨率和亚微米级表面研磨精度，以确保研磨和抛光精度。它还具有一个双级集成主轴机，能够同时研磨和抛光操作或单级研磨。此工具还具有用于设置参数的多功能液晶显示器,以及用于附加诊断和监视功能的可选数据接口。创新的HM-122资产配备了高精度的底座以及三个可调轴，以保证材料与磨盘之间均匀均匀的接触面。其集成铝合金气刀提供冷却剂或研磨辅助，以防止零件粘连和残余应力。此外,该模型还利用陶瓷磨盘进行更长的使用寿命和高效的磨削过程.优化的材料设计也确保了精密的磨削和抛光效果,并最大限度地减少了磨损。MITUTOYO HM-122晶圆研磨、研磨和抛光设备是需要对半导体材料进行高精度研磨和抛光的应用的理想选择。凭借先进的运动控制技术、广泛的参数设置和耐用的设计,HM-122为提供高质量的半导体元件提供了必要的便利和准确性。