二手 NAGASE INTEGREX W-4 #170039 待售

NAGASE INTEGREX W-4是一种全自动晶圆研磨、研磨和抛光设备。它具有先进的机器功能,能够满足统一、一致和精确的超高精度标准。系统从晶片加载到XY运动阶段开始。加载完成后,晶片将自动传输到研磨阶段。在此,空气轴承主轴提供超高速旋转,以在产生粒子的低风险下实现所需的高水平光洁度。通过对主轴转速、位置和下力的监测来控制磨削.一旦研磨过程完成，晶片被运送到研磨阶段，在那里它们被安装。在这里，一个线性运动的运动带被用来驱动晶圆和最小化粒子发射。研磨主轴采用主动减振装置和所有轴上的精密伺服电机设计，以提供尽可能高的精度。最后，晶片被运送到抛光阶段。采用了一种具有动态平衡和动态空气推进器的脊钢抛光盘，以提供纳米级的精度。可以精确控制抛光压力，在控制光洁度的同时消除瑕疵。W-4使用滚筒喷射机将晶片弹出，并使用单个输送机以最精确的方式将其通过其余的过程。此外,该工具还具有与洁净室兼容的抑制粒子生成设计,以及保护设备和人员免受突然损坏的安全资产。总体而言，NAGASE INTEGREX W-4是晶圆研磨、研磨、抛光的高性能型号。它旨在提供高效率的最佳速度和精度，使其成为半导体和医疗器械行业的热门选择。