二手 NAICHI FUJIKOSHI 9B-5L/P #9073244 待售

NAICHI FUJIKOSHI 9B-5L/P是由东京公司Naichi Fukikoshi生产的晶圆研磨、研磨、抛光设备。该系统能够对半导体基板等硬质和软质材料进行精磨、研磨和抛光。9B-5L/P配备了强大的30KW主轴电机,能够加工直径可达150 mm的晶片。它有一个静水轴承单元，工作范围为0.01 µm-0.1 µm，使晶片的精磨、研磨和抛光达到0.1 µm-0.002 µm的光洁度。该机进一步增强，配备了自动晶片装载机、自动表面检查工具、过程中监控资产以及用于冷却磨床的工业级冷却器。此外，它还具有防止抛光表面交叉污染的浆液控制模型。9B-5L/P的整体结构包括四个主要组成部分：工作站、拉普站、抛光站和控制单元。工作站是设备的主要部件，包含主轴电机、高精度直线导轨和高速、高精度电子控制器。它具有1,000至6,000 rpm的可控转速，并具有内置的减振功能。Lap Station包含两组支撑研磨板的膝架、金刚石浸渍镀层磨料、垫架和冷却剂系统。抛光站持有抛光垫，向抛光垫提供力和压力，并容纳正在进行的监控单元。控制单元包含用于数据采集、数据处理和结果显示的单元。总体而言,NAICHI FUJIKOSHI 9B-5L/P是一种坚固、精密的晶圆研磨、研磨和抛光机,与传统方法相比,节省了大量时间和成本。适用于基材、金属、陶瓷的精密加工，能够实现微米级表面精加工。