二手 NAICHI FUJIKOSHI LPD 300 #9223002 待售

NAICHI FUJIKOSHI LPD 300是专门为自动化生产环境设计的最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统足够精密，可为先进的微电子应用提供复杂的参数，可用于晶圆和模具级研磨、研磨、抛光等工艺，实现出色的表面质量和提高的均匀性。该机配有高精度对准相机单元和7轴机器人，确保机器人快速准确移动，并经过优化，为所有工艺操作提供可靠、可重复的界面。集成的光学轮廓测量机允许快速晶圆和模具级检查，以便在研磨和抛光过程中快速反馈。这样可以最大程度地减少人为干预,并增加过程控制。该机有一个由数控精密加工部件构成的机械框架，具有优异的刚性和可重复性，并配有一个电动传动装置，可精确有效地控制每个轴。此外，磨削压力调节工具允许近乎最佳的精度，以适应不断变化的工艺要求。该机器提供了一个全自动和可编程的界面，以便于控制所有的过程操作。NAICHI FUJIKOSHI LPD-300为优化工作环境设计了可调温控资产，机器还配备了集尘模型，以提高工艺安全性。此外，它还配备了冷却设备，以确保在研磨和抛光过程中对晶圆表面的热冲击最小。为了提供可靠、高质量的晶圆研磨、研磨和抛光工艺,LPD 300还配备了双面研磨机,具有独特的铣削元件,可用于平整曲面和曲面,从而提高晶圆的均匀性。此外，它还配备了手动控制的控制模块，以及用于全自动生产的集成可编程逻辑控制器（PLC）单元。总体而言,LPD-300是一个高性能、高精度的晶圆研磨、研磨和抛光系统,旨在满足复杂的自动化生产环境的需求。它非常适合要求严格控制晶圆粒度、均匀表面光洁度、形状和尺寸的工艺。