二手 NAICHI FUJIKOSHI SLM-140 #9043136 待售

NAICHI FUJIKOSHI SLM-140晶圆研磨、研磨和抛光设备设计用于单机研磨、研磨和抛光150 mm或200 mm全自动晶圆。它基于业界领先的设计,提供了最高的精度和耐用性。SLM-140系统采用了强大的4轴数控电机控制器,可实现卓越的控制和可重复性,并具有耐磨板和数字脉冲计数器等一系列先进功能。这样可以确保研磨、研磨和抛光操作的准确性和可重复性。NAICHI FUJIKOSHI SLM-140有两个独立的研磨、研磨和抛光部分。第一部分有两个直线马达，每个都有一个单独的研磨/研磨轮主轴。第二部分是抛光，并结合了两台LVTCC（低振动和扭矩控制循环）电动机。这样可以确保晶片即使在诸如弯曲或倾斜的曲面等复杂形状上研磨和研磨时也能达到高度均匀的表面。该单元还有两台独立可调的数控旋转电动机，可以调整抛光位置和速度，以匹配晶圆的精确轮廓。这是抛光圆角和晶圆边缘的理想选择。SLM-140机器包括真空卡盘工具，以确保研磨和抛光过程都无灰尘。真空卡盘还有助于减少振动和提高精度。资产还包括主轴箱中的静水轴承以及冷却喷油模型，以帮助散热和保护晶片免受过热和热失控。NAICHI FUJIKOSHI SLM-140晶圆研磨、研磨和抛光设备为晶圆的研磨、研磨和抛光提供了高度精确和耐用的解决方桉。它提供了一种坚固可靠的方法来实现具有卓越精度和可重复性的均匀曲面。该系统的先进特性和高度可调的数控电动机使其成为一个有吸引力的选择，工作与复杂的形状和实现高质量的结果。