二手 NAICHI FUJIKOSHI SLM-140 #9050531 待售

NAICHI FUJIKOSHI SLM-140是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备，用作精炼基板的集成两步工艺。其底座是一台与空气执行器和高精度伺服电机集成的易于使用的机器。SLM-140设计用于2英寸至8英寸的各种晶圆尺寸的高效、精确的研磨、研磨和抛光。该系统结合了多种功能，以确保正在加工的晶片基板的高端质量。其分段磨轮在整个晶片表面提供了均匀的结果，同时消除了由于不均匀磨削而造成的晶片断裂。研磨/抛光阶段包括一个精确的压力控制主轴头，以减少表面粗糙度和提供高端部分到部分的一致性。NAICHI FUJIKOSHI SLM-140能够在晶圆基板两侧测量0.3 μ m的粗糙度平均值（Ra）。该单元还设计用于高速处理大容量晶片，产生最高质量的光洁度。SLM-140配备了视觉机器以及各种自动化选项,以便能够在各种应用程序中使用。集成视觉工具可用于定位、检查和显示晶圆基板上的特征。此资产还允许快速准确的机器设置、模型诊断和校准。它的自动化选项包括计算机数控（CNC）功能、相互连接的机床通信以及提供有关研磨和研磨/抛光阶段参数的详细信息的监控设备。NAICHI FUJIKOSHI SLM-140是一种先进的系统，设计用于各种晶圆尺寸的高效、精确的研磨、研磨和抛光。凭借其分段磨轮、精密压力控制主轴头、集成视觉单元和自动化选项,SLM-140能够高速提供高端品质。