二手 NAICHI FUJIKOSHI USPL-12B #9276678 待售

NAICHI FUJIKOSHI USPL-12B是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在促进高效、精确的半导体晶圆加工操作。它由一个自动研磨、研磨和抛光单元组成，使用户能够始终如一地实现高水平的工艺控制和性能。该系统设计具有多种特点，在材料加工过程中提供最佳效果。该单元包括一个集成的磨削和抛光单元，具有自动磨头、滑动台和旋转磨盘。磨头设计为通过一定角度范围旋转，以实现所需的晶圆轮廓。滑动台允许在研磨过程中加载和卸载晶片。旋转研磨板提供了进入研磨板内部区域的晶片的通道，并允许在研磨过程中进行精确的控制。研磨过程由气体等离子体研磨装置管理，该装置设计用于产生可靠、可重复的结果。该单元包括陶瓷基板、可调气阀以及用于研磨过程的变速旋转运动。这确保了在研磨过程中杂质含量被充分去除。抛光过程由变速抛光头管理。磁头可以调节以适应各种晶片型材，并在抛光过程中设有真空板来固定晶片。集成的主轴传动机和变速控制工具可确保晶圆轮廓范围内的结果一致。该资产还设有晶片干燥站，用于在抛光过程之前清除晶片中多余的水分。USPL-12B晶圆研磨、研磨和抛光模型的设计可提供高精度、过程控制和整体性能。适用于一系列晶圆尺寸、型材和材料的加工。其集成的研磨、研磨和抛光单元降低了半导体晶圆加工的复杂性和成本。