二手 NANOTECH 140GPM #9312859 待售

NANOTECH 140GPM晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种小巧、高精度的设备,用于将基板精密研磨、研磨和抛光至表面表面,具有卓越的平整度、步长控制和优越的表面质量,适用于152 mm范围的晶圆。该系统还配有直观的自动调节磨头，可编程为在不同厚度下自动调节磨头压力，单步提供最佳磨削抛光工艺。140GPM由多轴金刚石工具、高速主轴电机、同步旋转和振荡轴组成，高分辨率编码器和定位精度为5弧秒。这样可以以最小的刀具磨损对晶片进行精确的微研磨。NANOTECH 140GPM在X&Y中的最高转速为28,000rpm,能够以最高速度获得最佳表面光洁度。该装置还具有一个空气轴承，使低温操作，这是理想的实现精确晶圆研磨。140GPM提供先进的水冷配置和工业级过滤器,以有效地保持最高温度40°C,并在整个过程中保持过程温度稳定。此外，晶圆装卸机具有专用的并行装卸机构，可自动装卸晶圆，以及精确定位的拨放机构。NANOTECH 140GPM利用高精度在线计量工具实时测量工艺参数。该计量资产用于监测研磨过程的特征值，以确保正确的过程控制和准确性。此外，离线测量模型允许精确、快速地测量晶圆的表面光洁度和平坦度。最后，140GPM配备了人性化的图形界面来控制整个过程。这提供了一个简单的方法来设置设备，并根据晶圆的大小和它想要的表面光洁度调整研磨参数。控制系统还允许数据存储功能，以便对整个研磨和抛光过程保持可追踪的记录。