二手 NANOTECH 380 #119018 待售
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NANOTECH 380是用于半导体、MEMS和光学器件制造的精密晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统采用坚固和高度模块化的结构,在粗磨、超细抛光和研磨等应用中提供高精度和高性能。该单元利用由金刚石、氮化硼、碳化硅等材料组成的纳米级叶片,对晶片表面进行研磨、拉圈、抛光。机械臂负责高速精确地安装和控制纳米级刀片。此外,机械臂能够在晶片和刀片表面之间沉积磨损颗粒。计算机具有可配置的工作流引擎,可确保以尽可能最准确的方式执行所有操作和吞吐量。这包括用于预测过程结果的强大模拟功能。还采用了一整套传感器和控制器来对过程进行闭环反馈控制,确保高刀具精度和可重复性。380配备了直观的用户界面和多个可配置的选项,用于容纳不同类型的晶圆几何形状和应用。该工具便于进行复杂的流程监控,从而能够实时优化流程参数和条件。NANOTECH 380资产的设计可实现最小的维护和停机时间,提供更高的正常运行时间和更高的工作流效率。这款车型还设计了先进的安全功能,如手指保护、低风险的叶片进给以及多种安全互锁功能。该设备是晶圆研磨、研磨和抛光中需要高精度和重复性的应用的理想工具。其一致的精度和性能使得380成为实现晶片等材料纳米级制造的完全可靠的解决方桉。
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