二手 NELMOR RG1215-M1 #9114116 待售

NELMOR RG1215-M1是一种功能强大的晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于半导体加工、MEMS制造和其他相关应用的最高性能。该系统包括一个先进的双轴磨头、一个双面研磨台和一个可选的车轮抛光站。双轴研磨头由研磨电动机、研磨轮和高精度旋转伺服电动机组成。旋转伺服电机能够以0.01°为增量精确控制砂轮的旋转。精确的控制允许晶片的精确和更高的性能研磨。甚至适合低速研磨，以减少研磨轮的磨损。磨头的集成自动Z轴使晶片上的特征能够精确磨削。研磨台的设计允许使用自由浮动的金刚石垫来平整研磨和抛光两侧的晶圆。它能够一次研磨晶片的两侧，每个研磨台一次最多可容纳20个晶片，从而实现高吞吐量。内置数据记录单元提供处理时间、研磨模式和施加力等数据。可选的车轮抛光站可用于完成打磨或研磨晶片。它能够同时在晶圆两侧执行高精度表面抛光。该站包括一台抛光电动机、四个抛光轮和一台主轴电动机。主轴电动机和抛光电动机的旋转运动可以以0.1°的增量精确控制，以确保高精度和可重复的过程。总之，RG1215-M1是一种优越的晶圆研磨、研磨和抛光机，用于半导体加工。具有高精度、精确度和重复性的晶片研磨、研磨和抛光能力。