二手 NIKKO NFG-515 #9093450 待售
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NIKKO NFG-515是一种晶片研磨、研磨和抛光设备,非常适合调节半导体晶片、晶体和其他光滑表面。这种半自动化系统能够对直径不超过5英寸的基板进行单次和批量研磨、研磨和抛光,具有极高的精确度和可重复性。该单元配备了一个平板式工作阶段,允许将基板精确定位在压板上进行处理,并设计为接受标准的4英寸或5英寸卡带,用于进料和机器装载。卡带装载机可以手动操作,也可以采用自动化模式操作,具体取决于应用要求和要处理的晶片数量。磨削、研磨和抛光过程由两个独立的高分辨率步进电机驱动,提供卓越的重复性和准确性。该工具可用于使用各种研磨介质和抛光垫对晶片进行研磨、拉圈和抛光,具体取决于所需的材料去除率和表面光洁度。资产可以提供广泛的表面饰面和微观结构,包括接近原子平坦的表面。该压板包括一个变速驱动器,范围高达2000 RPM,最大力为1000 N,这种变速允许对物料去除速率进行精确控制,而精确的微步控制则确保了卓越的精度和可重复性。该模型还配备了运动控制器,能够对复杂的研磨、研磨和抛光工艺进行精确编程。除研磨、研磨和抛光工艺外,NFG-515设备还包括一些附加特性和附件,如真空辅助加工用真空卡盘、较大基板用基板支架、精确颗粒沉积用颗粒沉积系统和精确力测量用压力检测装置。总体而言,NIKKO NFG-515是一种用于调节半导体晶片、晶体和其他光滑表面的紧凑、精确和通用的机器。此工具非常适合要求苛刻的应用,例如平面化、CMP(化学机械抛光)和其他表面处理任务。优越的单批处理能力,结合变速驱动、精确定位和微步控制,提供卓越的准确性和可重复性,使资产成为手动、半自动化和自动化处理的理想选择。
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