二手 NORVILLE Autoflow Integra #9294899 待售

NORVILLE Autoflow Integra
ID: 9294899
Polishers.
NORVILLE Autoflow Integra是为晶圆製造生产线而设计的最先进的晶圆研磨、研磨、抛光设备。该系统与专为可重复性和变异控制而设计的自动化流程具有令人印象深刻的集成水平。Autoflow Integra由模块化的多步骤过程组成,该过程从磨削开始,到最终抛光结束,所有这些过程都在一台机器中完成。集成单元具有本机光学视觉反馈功能,可提供连续的性能数据和反馈控制,以确保过程的可重复性并实现优化。每个集成工艺步骤都由专门的工作站组成,包括粗细磨削、研磨和最终抛光。所有这些结合使NORVILLE Autoflow Integra在加工均匀晶圆曲面时具有极高的精度。为确保可重复性和最大的制造质量,Autoflow Integra包含了广泛的自动化过程参数预设。操作员可以使用这些预设来根据全局工艺标准优化它们的研磨、研磨和抛光参数,还可以根据正在处理的晶圆的类型设置自定义参数。这有助于更好地控制表面地形、晶圆倾斜度和其他参数,以实现最佳的设备性能。此外,NORVILLE Autoflow Integra还具有直观的触摸屏界面,可访问研磨和抛光算法、数据管理、跟踪和监视功能。所有这些都提供了对加工过程的强大见解,使用户能够自定义蓝图处理以满足其独特的制造需求。最后,AutoflowIntegra的整体安全功能使操作员在加工晶片时安心.NORVILLE Autoflow Integra具有在停电或紧急停电时停止机器的安全开关,以及防止意外事件发生时晶圆损坏的多个保护功能。结合Autoflow Integra的其他功能,清楚地看出为什么这台先进的晶圆研磨、研磨和抛光机被认为是先进晶圆制造工艺的必备产品。
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