二手 NOVELLUS Avanti 472 #9225550 待售

ID: 9225550
优质的: 2000
CMP Polisher 2000 vintage.
NOVELLUS Avanti 472是先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,可帮助制造设施跟上晶圆精度和完整性日益严格的要求。NOVELLUS AVANT I472采用多维设计,将高精度运动系统与业界领先的软件和尖端机器人技术相结合,是现代晶圆制造不可或缺的工具。472包括一个多轴工作包络,允许用户沿着每个轴向平面以最高两个自由度完成晶片。磨具的运动由数字指令信号和伺服电机精确控制。这与主轴驱动工具的变速控制器相结合,创造了提供平滑、精确、可重复过程的能力。472包括许多安全功能,包括E-Stop和安全PLC,以及晶圆标记和全过程自动化选项。NOVELLUS 472也有人性化的控制面板。易于使用的图形界面允许用户快速设置系统,以及快速准确地监控每个晶圆的进度。472还为不同尺寸和厚度的晶片提供了预编程工艺库。这有助于使操作员专注于手头的任务,并消除每次输入相同参数的需要。Avanti 472还提供了几种提高晶片质量的设施。例如,472使用可编程砂砾元素,以确保一致的研磨运动。472还包括一个先进的3D检查单元,可以对平面视图和地形特征进行高度精确的测量。这有助于确保成品晶片的完整性。总体而言,AVANT I472是晶圆制造设施的重要工具。它以多轴工作包络、数字命令信号和变速控制提供了无与伦比的准确性和可重复性。用户友好的控制面板和预编程流程帮助操作员继续专注于手头的任务。此外,包含3D检查机有助于确保成品晶片的完整性。
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