二手 NOVELLUS Avanti 472 #9225556 待售

NOVELLUS Avanti 472设备是一种晶圆研磨、研磨和抛光系统，设计用于半导体材料的生产加工。它经过精心设计，能够快速高效地提供高质量、均匀抛光的晶片，很少或根本没有操作员干预。NOVELLUS AVANT I472能够处理直径达300毫米的晶片。Avanti 472需要一种可以是晶圆盘、浆料、金刚石磨料、瓷砖和海绵的工艺介质。它具有运行不同类型的研磨工艺的能力，如电化学-机械抛光、化学-机械抛光和超光滑回磨。该单元的主要部件包括研磨抛光机、用于固定抛光表面的压板、用于回收和再利用工艺介质的浆料回收机。机器的抛光室采用压力、持续时间、速度等几个可调参数设计，使操作员能够设定研磨、研磨和抛光操作的确切要求。该装置能够保证均匀的研磨压力，进一步有助于防止晶片变形。AVANT I472装有各种传感器,用于监视流程参数并提醒操作员有关流程中的任何更改。它有一个先进的晶圆监测工具，不断检查晶圆的质量，并提供有关抛光工艺进展的实时数据。此外，该资产有一个软件接口模型，方便编程和监控相同。NOVELLUS Avanti 472还配备了符合OSHA要求的集成安全设备，确保操作员在进行抛光操作时的安全。该单元由不锈钢制成，确保可靠性和耐用性。该系统易于操作，还具有高效的清洗装置，可确保晶片表面无灰尘且安全处理。NOVELLUS AVANT I472是为半导体材料生产加工而设计的可靠、经济高效的机器。该工具可确保高质量的抛光晶片能够快速、轻松地生产，而操作员的干预最少，对工艺参数的控制更大。