二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9226639 待售

NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472
ID: 9226639
晶圆大小: 6"
优质的: 1998
Tungsten CMP system, 6" 1998 vintage.
NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472四轴晶圆研磨研磨抛光设备是一台最先进的晶圆加工机。它设计独特,可处理各种晶圆尺寸,直径可达300毫米。该系统具有直接驱动机器人工件处理单元,以及精密、高速、即时研磨和抛光头。这种功能组合为用户提供了卓越的准确性和可重复性。IPEC 472由直观的图形用户界面(GUI)驱动,允许操作员轻松定制和控制机器。WESTECH 472包含了几个车载安全系统,包括一个紧急停止开关和门上的多个联锁装置。它还具有用于研磨室的真空蓄能器,允许无尘操作。SPEEDFAM 472由强大的CNC控制器驱动,提供精确的转速和运动控制。该工具还包含一个多区域温度控制资产,以确保整个晶圆的热条件一致。这确保了整个研磨和抛光过程的最大精度。NOVELLUS 472配备了自动化的媒体补给模式,使用户可以轻松地在媒体等级之间切换。472的先进速度和精度允许晶圆研磨和研磨应用,以及最苛刻应用的超精细抛光应用。NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472包含4轴控制,以获得最大的灵活性和准确性。它由一个精密的双头研磨和抛光主轴提供动力,可达到12,000 RPM,用于晶圆取向和材料类型的任意组合。综合研磨室和多个研磨头每次提供均匀、一致的结果。总之,IPEC 472是一款功能强大、先进的晶圆加工设备,旨在每次为用户提供优越的研磨和抛光效果。其高速度和精确度,加上直观的设计和易于定制,使其成为晶圆研磨、研磨和抛光应用的顶级解决方桉。
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