二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293761797 待售

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676是一款高性能、综合性的晶圆研磨、研磨、抛光设备，专为复杂的半导体加工应用而设计。该系统适用于包括低维和非均匀晶片在内的多种晶片的研磨、研磨和抛光，适用于广泛的行业，包括半导体、航空航天、汽车和医疗。该单元配备了先进的过程控制、自动CIP更新、自动过程管理机和机载配方维护。该工具采用了先进的过程控制软件，使其能够在高精度和缩短设置时间的产品生产中获得精确的精度。此外，资产还提供了对工艺工具移动、测量和实现预期结果所需的其他参数的综合监测和控制。该模型集成了多个组件，包括晶片卡盘、晶片传输设备、研磨抛光销、预对准单元、真空系统，以及两台大型数控伺服电机。该装置设计用于每小时60个晶圆的吞吐量,提供灵活的配方管理和编程,并能够进行各种研磨和抛光操作,包括RA和Rz测量。此外，机器还装有一个六英寸的腔室，用于清洗和准备晶片。为确保人员和工具的安全,IPEC 676配备了监视和访问资产（MAS）和多个传感器,用于监视模型参数、过程参数和操作员访问信息。MAS还使远程进程监视（包括数据记录）能够帮助跟踪进程。该设备易于与现有工艺设备集成，提供了一个可以接受各种晶圆和工艺的高度可调的平台。模块化设计允许在操作需求或流程需求发生变化时进行系统升级和更换。此外,该设备还提供高级诊断和维护功能,使用户能够检测任何机器问题并进行必要的维修。通过优化工艺参数,WESTECH 676提供了高精度的处理和可靠的性能,并具有最小的停机时间和较低的维护。