二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293762280 待售

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676是为半导体工业设计的高度精密的晶圆研磨、研磨和抛光设备。这台六轴机器可以通过金刚石和CMP研磨、研磨和抛光等多种材料来处理二维和三维晶片，其中包括硅、移植物、砷化氙和其他化合物。IPEC 676系统能够在多层薄膜、石英甚至蓝宝石晶片中达到0.0005英寸或更高的精度。该装置配备了刚性主轴传动装置、机器人技术、自动化以及大小晶片的自动处理。它有一个可靠的自诊断机，允许它在操作过程中检测任何不规则性，并自动调整过程参数以达到最佳性能和效率。WESTECH 676工具采用集成的计算机和网络系统,能够完全控制晶圆磨床和其他资产组件。本地联网控制允许完全自动化和远程监控模型功能。此外，晶圆研磨机有一个内置的数据采集设备，用于改进过程控制，为操作员提供每个过程步骤和关键数据点的实时反馈。在安全方面，676系统配备了安全垫、盖板、气门等多种安全装置。晶圆研磨机装有一个失效安全容器，以容纳任何潜在的碎屑和冷却剂或使用的润滑剂。内置的温度、压力和应力传感器使设备能够自我监控、检测和防范任何潜在风险。这有助于消除潜在的操作员错误和对环境或人员的潜在危害。总体而言，SPEEDFAM 676是为半导体行业设计的高度先进、多轴的机器。它提供了无与伦比的精度、控制和安全特性，使其成为精密晶圆研磨、研磨和抛光应用的优越选择。